·缩短调节运行时间；单一组分硅油比用多组分硅油达到最大真空度需要的时间短得多；快速抽空；小的回流，DOWCORNING单一组分硅油的蒸汽压力是很低的，以至对于许多应用阱或现存的阱致冷是不需要的；较长的服务寿命；硅油的热和化学稳定性允许长久的运行而不被恶化和污染；清洗系统维修需求较少；较快的循环，减少停机时间，更换油的需求少。